Sự thủy phân của xenon hexaflorua hoặc xenon tetraflorua tạo thành một dung dịch từ đó có thể thu được tinh thể XeO3 không màu nhờ quá trình bốc hơi[7]. Tinh thể ổn định trong nhiều ngày trong không khí khô, nhưng dễ dàng hấp thụ nước từ không khí ẩm để tạo thành dung dịch axit xenic như trên. Cấu trúc tinh thể là trực thoi với a = 6,163 Å, b = 8,115 Å, c = 5,234 Å, và 4 phân tử trên mỗi đơn vị tế bào. Mật độ hợp chất là 4,55 g/cm³.[8]